產品詳情
  • 產品名稱:卷對卷PECVD石墨烯制備設備柔性透明電極連續生產

  • 產品型號:CY-OTF-1200X-III-PE300-RR
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
卷對卷PECVD石墨烯制備設備主要應用于計算機和智能手機屏幕,超輕、柔性的太陽能電池,以及新型的發光設備和其他薄膜電子產品
詳情介紹:

卷對卷式PECVD是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統,設備由卷對卷銅箔收放密封裝置、1200°C三溫區管式爐、 真空機組3部分組成。此設備可用于大面積、高質量石墨烯及其他二維材料的規?;L。

卷對卷式PECVD應用范圍:

計算機和智能手機屏幕,超輕、柔性的太陽能電池,以及新型的發光設備和其他薄膜電子產品領域。

等離子體增強化學氣相沉積

卷對卷PECVD技術參數:

性能指標和基本配置

產品名稱

卷對卷式PECVD

產品型號

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

1000W等離子源

● 輸出功率:50-1000W*大可調±1%
● RF頻率: 13.56MHz,穩定性±0.005%
● 噪聲:≤55DB
● 冷卻:風冷
● 輸入功率:1KW  AC 220V

三路質子流量計控制系統

● 電壓:AC220V/50Hz
● 功率:23W
● PLC觸摸屏控制
● 混氣罐尺寸:φ80*120mm
● 工作溫度:5~45℃
● *大壓力: 3x106 Pa
● 精度: ±1.5% FS
● 線性: ±(0.5-1.5)%F.S.
● 重復精度: ±0.2%F.S.
● 流量范圍:
● 一路: 1~50 SCCM (甲烷標定)
● 二路: 1~200 SCCM (氫氣標定)
● 三路: 1~200 SCCM (氬氣標定)
氣體種類標定根據客戶要求可以進行其它選擇

真空測量單元

● 型號:PCG-800
● 顯示范圍:3.8E-5 to 1125 Torr
精度:
● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
● 100 … 950 mbar % of reading ±5
● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

低真空機組(標配)

● 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器(PE材質)、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
● 極限真空度10-1Pa
● 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa

卷對卷銅箔收放密封裝置

● 采用卷對卷收放卷機構進行銅箔的移動進出料,銅箔的移動速度為1-400mm/min可調;
● 配置一卷測試銅箔

● 收放卷機構別放置于管式爐兩端真空腔體內,保證銅箔可在密封生長條件下進行運動,實現大規模制備 。
● 收卷機構與管式爐之間設置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。

產品尺寸

大約2400*800*1250mm

產品重量

大約720kg

質量認證

電器元件可選擇通過CE認證

保修期

一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。


豫公網安備 41019702002438號

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