產品詳情
  • 產品名稱:小型電動升降樣品臺蒸發鍍膜儀

  • 產品型號:CY-EVP195S-1S-LT
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
本產品為桌面型小型蒸發鍍膜儀,設備安裝有鎢絲籃蒸發源,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍
詳情介紹:

本產品為桌面型小型蒸發鍍膜儀,設備安裝有鎢絲籃蒸發源,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作,配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空,能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境;同時設備采用高罐體及電動升降樣品臺的設計,能夠滿足不同樣品和膜料的蒸鍍要求;升降機構采用焊接波紋管密封,在保證密封性的情況下實現了樣品臺的升降動作。樣品臺的升降及旋轉均可通過屏幕控制,操作簡單直觀,十分適合實驗室使用。

小型蒸發鍍膜儀技術參數:


產品名稱

桌面型電動升降樣品臺蒸發鍍膜儀

產品型號

CY-EVP195S-1S-LTT高罐體tall;L升降 lift

安裝條件

1、使用環境溫度 25℃±15℃,濕度 55%Rh±10%Rh;

2、設備供電:AC220V,50Hz,必須有良好接地;

3、額定功率:1200w;

4、設備用氣:設備腔室內需充注氬氣清洗,需客戶自備氬氣,純

度 ≥99.99%;

5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm,承重 70kg 以上;

6、擺放位置要求通風。

技術參數

1、 蒸發源數量:1個,配擋板;

2、 蒸發源電壓:10V

3、 蒸發電流 0~100A 連續可調

4、 1個鎢舟、1鎢絲籃;

5、 不銹鋼電動升降樣品臺,直徑為70mm,旋轉速度1~20rpm連續可調;

6、 樣品與蒸發源的距離為 190~300mm連續可調,真空狀態下也可升降調節 ;

7、 真空腔體為不銹鋼腔體其外徑為195mm,內徑為185mm,高度為350mm;

8、 上蓋采用ISO法蘭密封,便于拆卸檢查;腔體設有前開門,并配有φ60mm的帶擋板石英觀察窗;

9、 真空腔體抽氣接口為 KF40;

10、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭,默認配不銹鋼微調閥以調節進氣量;

11、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏;

12、 可調節蒸發電流,可設置蒸發**電流值、**真空值;

13、 **保護:過流、真空過低自動切斷蒸發電流;

14、 極限真空:5x10-5Pa(搭配分子泵);

15、 真空測量為電阻規真空計,其量程為:1~105Pa

注意事項

1、為充分發揮腔體的真空性能,建議搭配分子泵組使用。

可選配件

厚監測儀

1、膜厚分辨率:0.0136?(鋁)

2、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置, 材料應力,溫度和密度

3、測量速度:100ms-1s/次,可設置測量范圍:500000?(鋁)

4、標準傳感器晶體:6MHz

5、適用晶片頻率:6MHz 適用晶片尺寸:Φ14mm 安裝法蘭:CF35

其他配件

1、 鎢舟、鎢絲籃;

2、 有機蒸發源(含石英舟和鎢絲發熱源);

3、 蒸發源數量可選1~2組;

4、 CY-CZK103系列高性能分子泵組(含復合真空計,測量范圍

10-5Pa~105Pa);

CY-GZK60系列小型分子泵組(含復合真空計,測量范圍10-5Pa~102Pa

VRD-4雙極旋片真空泵;

5、 CW3000循環水冷機(風冷,流量10L/min)

6、 KF40真空波紋管;長度可選0.5m、1m、1.5m;KF25卡箍支架

7、 膜厚儀晶振片;


豫公網安備 41019702002438號

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