產品詳情
  • 產品名稱:PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備

  • 產品型號:CY-PECVD-R
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
本產品為PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
詳情介紹:

旋轉PECVD 

本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

技術參數

雙溫區管式爐

產品型號

CY-O1200-60IIC-R

設備功率

3KW

爐管材質

高純石英

爐管尺寸

Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

爐膛長度

440mm

加熱區長

200mm+200mm

工作溫度

0~1150℃

極限溫度

1200℃

控溫精度

±1℃

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫模式

30段程序控溫,PID參數自整定

顯示模式

高清全彩LCD觸控屏

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

供電電源

AC:220V 50/60Hz  

旋轉速度

0~13rpm

傾斜角度

0~35°

3路質量流量計

產品型號

CY-3Z

氣路數量

3路

流量計類型

質量流量計

測量范圍

A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

測量精度

±1.5%

工作壓差

0.1~0.5MPa

管路接口

1/4英寸卡套接頭

供電

AC220V 50/60Hz

真空系統

真空泵

雙極旋片泵

抽速

1.1L/s

抽氣接口

KF16

泵極限真空度

10E-1Pa

供電

AC220V 50/60Hz

射頻電源

信號頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍

0~500W

*大反射功率

100W

射頻輸出接口

50Ω,N-Type,female

功率穩定度

≤5W


豫公網安備 41019702002438號

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