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旋轉勻膠機功能介紹

日期:2022-09-29 22:01
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摘要:
旋轉勻膠機功能介紹
  旋轉勻膠機是一種用于工程與技術科學基礎學科領域的計量儀器,于2014年12月12日啟用。
技術指標
  旋轉勻膠機可以自動定量滴加光刻膠(支持的光刻膠年度在10cp-500cp),也可以實驗手動滴加光刻膠;勻膠的時間可以在0.1s到999s范圍內調整且連續;滿足旋涂3mm到150mm直徑范圍的樣品;穩定的轉速范圍可在50轉/分到8000轉/分,加速范圍從50rpm/s到4000rpm/s;膜厚的均勻性在2%(Resist AZ5214E,1um)。
主要功能
  旋轉勻膠機常用于各種溶膠凝膠實驗中的薄膜制作,需要旋涂的基片和的旋涂膠液間的粘滯系數不同,厚度也會有所不同,同時旋涂的時間和轉速也會對厚度有不同的影響。

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